TOF-SIMS 장비 제어부터 측정 데이터 수집, 스펙트럼 분석, 2D·3D 이미지 분석까지 통합한 LabVIEW 기반 소프트웨어입니다.
측정 신호를 스펙트럼으로 표시하고, 관심 피크를 지정하여 해당 신호의 분포를 2D 이미지와 3D 시각화로 확인할 수 있도록 개발했습니다. 피크 목록 관리와 이미지 분석을 연계하여 시료의 공간적 분포 특성을 확인할 수 있습니다.
또한 저장된 측정 데이터 파일을 불러와 재분석하는 기능을 제공하여, 추가 측정 없이 기존 데이터를 활용한 분석과 결과 검토를 지원합니다.
주요 기능
- TOF-SIMS 장비 제어 및 측정 데이터 수집
- 측정 스펙트럼 표시 및 관심 피크 구간 설정
- 피크 목록 생성·편집 및 저장·불러오기
- 선택 피크에 대한 2D 분포 이미지 생성 및 분석
- 3D 이미지 시각화 및 공간 분포 분석
- 측정 데이터 파일 저장 및 불러오기
- 저장된 데이터 기반 스펙트럼 및 이미지 재분석